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XTC/3薄膜沉积控制器
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XTC/3薄膜沉积控制器
专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
  • 订货编号:tlyon003167
  • 参考报价:
  • 人气指数:3673
  • 品牌名称:美国INFICON
  • 样本资料: 【索取】
  • 供货周期: 合同约定 
  • 关联标签:XTC/3薄膜沉积控制器,薄膜沉积控制仪
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XTC/3薄膜沉积控制器

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  • 产品名称:XTC/3薄膜沉积控制器
  • 订货号:tlyon003167
  • 品牌名称:美国INFICON
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XTC/3 薄膜沉积控制器

技术先进,经济实惠,可对单层或多层薄膜进行速率控制

立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。XTC/3 带有专利 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以高度精确地控制沉积速率和厚度,获得几乎适用于所有层的容量,而且控制器安装简便,具有极高可靠性,可确保高生产力。

INFICON 是薄膜沉积控制领域的全球领导者,现在提供的这款器具有极低的拥有成本,可为客户带来空前的价值。

功能

  • 提供有单层和多层型号
  • 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
  • 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换,从而最大化生产力
  • XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
  • XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
  • 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
  • 可以为薄膜和过程分配唯一的描述性名称,以便于检索
  • 提供以太网连接
  • 独立式(不需要计算机)或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
  • 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

典型应用

  • 高端光学镀膜

规格

类型 XTC3/S XTC3/M
频率分辨率
±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
测量频率范围
6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
测量周期
0.25 seconds 0.25 seconds
厚度和速率分辨率/测量 (1)
±0.034 Å ±0.034 Å
测量技术
ModeLock ModeLock
过程数量
1 99
层数
1 999
材料计划(或薄膜)数量
9 32
传感器输入数量
2 2
CrystalSix / Crystal 12 传感器支持
Yes Yes
支持 XTAL 2 开关
Yes Yes
来源输出数量
2 2
计算机通信
RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
最大 RS232 波特率
115.2 KBaud 115.2 KBaud
自动晶体转换
Yes Yes
继电器数量
12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
可编程继电器功能数量
1 1
每个继电器的功能
1 1
继电器额定电压
30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
输入数量
8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
可编程输入功能数量
1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
记录器输出数量
1 1
手动电源 / 手持控制器
Yes Yes
排气管风扇
No Exhaust Fan No Exhaust Fan
测试模式
Yes Yes
闸门延迟
Yes Yes
二次成型模具
Yes Yes
外壳尺寸
half rack, 2U high half rack, 2U high
速率和厚度显示分辨率
0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通过输入选择膜
Yes No
用户指南语言
English, Chinese English, Chinese
控制环路
PID PID
用于从 PC 操作的软件
Yes Yes
数据记录
Yes Yes
质量和稳定性功能
Yes Yes
采样保持 (RateWatcher™)
Yes Yes
坩埚选择
Yes Yes
坩埚反馈输入
Yes Yes
选择控制电压极性
Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序锁定码
Yes Yes
带图形的显示器
Yes Yes
用户标记过程(手机式字母数字输入)
No No
用户标记膜(手机式字母数字输入)
No No
传输传感器控制
Yes Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性
Yes (limited) Yes (limited)

(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
溅射传感器 溅射传感器
CrystalSix 传感器 CrystalSix 传感器
Crystal 12 传感器 Crystal 12 传感器
RSH-600 旋转式传感器 RSH-600 旋转式传感器
零件号 明细
780-700-G1 Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1 Handheld Power Controller
780-702-G1 单件机架安装套件 – 提供将单台 XTC/3 安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
780-702-G2 两件机架安装套件 – 提供将两台 XTC/3 并排安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
780-032-G1 XTC/3M 或 XTC/3S 编辑器 / 监测器软件,位于 CD 上
780-038-G1 XTC/3M 或 XTC/3S 通信库 (DLL),位于 CD 上
779-220-G1 CrystalTwo 开关,15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2 CrystalTwo 开关,50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
780-611-G15 带 5 ft. (4.6 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G30 带 30 ft. (9.1 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G50 带 50 ft. (15.2 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G100 带 100 ft. (30.5 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G15 带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G30 带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G50 带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G100 带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G15 带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G30 带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G50 带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G100 带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
Oscillator Only (未随附电缆)
780-600-G1 XTC/3 XIU(振荡器)- 用于长度为 6 in. 至 72 in.(15 cm 至 183 cm)的 XIU 至传感器头部电缆
780-600-G2 XTC/3 XIU(振荡器)- 用于长度为 118 in. 至 157 in.(3 m 至 4 m)的 XIU 至传感器头部电缆
Cables
755-257-G6 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,XIU 至真空馈入件
600-1261-P15 4.6 米(15 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30 9.1 米(30 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50 15.2 米(50 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100 30.5 米(100 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XI

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体


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