• 产品名称：Cygnus2薄膜沉积控制器
• 订货号：tlyon003171
• 品牌名称：美国INFICON

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为 OLED 应用提供最佳测量精度

Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。

功能

• INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
• Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
• 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
• 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
• 10 Hz 测量
• 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
• USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
• 多个源厚度合计功能
• 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）
• 速率显示分辨率可达0.001Å
• 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
• 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
• 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
• 可选以太网通信
• 符合 RoHS 标准

规格

类型		Cygnus 2
测量性能
频率分辨率		±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1)		±0.00433 Å
测量频率范围		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)		0.5%
测量周期		0.10 s
多个测量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能
多传感器测量		yes (up to 6 sensors)
Auto Z		yes
共沉积		yes (up to 6 sensors)
过程配方和数据管理
材料计划		6 independent materials
USB 存储器		yes
数据记录		yes
硬件功能
传感器 (3)
单		6
带 CrystalTwo® 的双		6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
CrystalSix®		6
Crystal 12®		6
通用		6
来源控制
来源数量 (4)		up to 6
来源控制电压		0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率		15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置		64
输入 / 输出
输入		14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出		8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4)		0 to +10 V, adjustable
逻辑语句		100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
标准		RS232
可选		Ethernet
显示器
厚度分辨率		1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率		0.001 for 0 to 9.999 Å/s 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作
电源要求		100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作温度		0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深）		5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量		13 lbs (5.9 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹

(2) 随过程变化；数值表示典型的精度

(3) 每种类型的最大配置

(4) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准，还可选择再添加 6 个。可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6

附件

名称	说明
前装式单传感器	前装式单传感器
前装式双传感器	前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器	炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器	炫酷抽屉双传感器
ALD 探头	ALD 探头
UHV 可烘烤传感器	UHV 可烘烤传感器
溅射传感器	溅射传感器
CrystalSix 传感器	CrystalSix 传感器
Crystal 12 传感器	Crystal 12 传感器
RSH-600 旋转式传感器	RSH-600 旋转式传感器

零件号	明细
755-262-G1	Handheld Power Controller
779-220-G1	CrystalTwo 开关，15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2	CrystalTwo 开关，50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits	（包括振荡器和电缆）
781-611-G15	带 4.6 米（15 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G30	带 9.1 米（30 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G50	带 15.2 米（50 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G100	带 30.5 米（100 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G15	带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G30	带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G50	带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G100	带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G15	带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G30	带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G50	带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G100	带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
Oscillator Only	（未随附电缆）
781-600-G1	XIU（振荡器）- 用于长度为 15 至 183 厘米（6 至 72 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-600-G2	XIU（振荡器）- 用于长度为 3 至 4 米（118 至 157 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
Cables
755-257-G6	15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，XIU 至真空馈入件
600-1261-P15	4.6 米（15 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30	9.1 米（30 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50	15.2 米（50 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100	30.5 米（100 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名称	说明
石英监控器晶体	石英监控器晶体

*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*  

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