• 产品名称：Diener Tetra30PC 等离子清洗机
• 订货号：tlyon003678
• 品牌名称：德国Diener

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Tetra 30 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Tetra 30 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Tetra 30 等离子系统主要应用于以下领域：

• 分析 (REM, TEM)
• 考古
• 汽车行业
• 生物技术
• 弹性体技术
• 电子技术
• 电子显微镜
• 精密工程
• 研究和开发
• 半导体技术
• 小批量生产
• 塑料技术
• 医疗技术
• 微系统技术
• 太阳能电池技术
• 纺织技术

基本设备

• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
• 腔室容积：根据具体版本，分为 34 - 57 升
• 供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位

气源

• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 矩形不锈钢件，配有铰链的门
  （约宽 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）

装载件

• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层
• 具有气体喷淋的 RIE 电极

控制系统

• PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani
• Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

• 数字型

发生器

频率：	40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W
	13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W
	2.45 GHz: 功率 0 - 600 W；0 - 1200 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）

*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*  

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