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Diener FEMTO 微波等离子清洗机
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Diener FEMTO 微波等离子清洗机
可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要
  • 订货编号:tlyon003679
  • 参考价:  询价 
  • 人气指数:3239
  • 品牌名称:德国Diener
  • 样本资料: 【下载】
  • 供货周期:  
  • 关联标签:Diener FEMTO 微波等离子清洗机,等离子清洗器
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  • 产品名称:Diener FEMTO 微波等离子清洗机
  • 订货号:tlyon003679
  • 品牌名称:德国Diener
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德国Diener electronic成立于1993年,是世界低温等离子工业的领导者,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。
用途:
Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点:
可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

 

Diener FEMTO 微波等离子清洗机

            Femto A

Diener FEMTO 微波等离子清洗机

               Femto C

Diener FEMTO 微波等离子清洗机

             Femto D

 

Diener FEMTO 微波等离子清洗机

          Femto B

 

Diener FEMTO 微波等离子清洗机

                Femto E

应用:
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

 

应用领域:

REM, TEM 考古 汽车制造业 橡胶制造业
微机械制造 传感器检测 灭菌 纺织业
医疗器械制造业 塑料制造业 研发部门 电子半导体行业


 规格、参数:

系列

Femto

控制系统

半自动型

PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

1.9~6L

真空腔室

圆形不锈钢件,配有盖子
(大约 Φ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm)

矩形不锈钢件,配有铰链的门
(约宽 103 x 深 285 x 高 103)

配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门
(大约Φ  95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm)

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约 Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm)

配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门
(大约Φ  95 mm,长 280 mm 或者长 600 mm)

电极

单层或多层

RIE

样品支架

(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W;0 - 1000 W

13.56 MHz;功率 0 - 50 W;0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

电源

供电电源: 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位


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