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PVD4-EB电子束沉积系统
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PVD4-EB电子束沉积系统
专用于材料的电子束热蒸发
  • 订货编号:tlyon005342
  • 参考报价:
  • 人气指数:2084
  • 品牌名称:法国Vinci
  • 样本资料: 【索取】
  • 供货周期: 合同约定 
  • 关联标签:PVD4-EB电子束沉积系统,电子束蒸发器,气相沉积系统,电子束蒸发沉积系统
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  • 产品名称:PVD4-EB电子束沉积系统
  • 订货号:tlyon005342
  • 品牌名称:法国Vinci
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PVD4-EB 是一种模块化的经济高效的物理气相沉积系统,专用于材料的电子束热蒸发。全自动 PVD4-EB 是研发环境的理想选择。该装置配备了带有 4 x 4cc 可旋转坩埚的电子枪。

 特征

* 4x4 cc 电子束源(金属),带 3KW 电源
* 电动坩埚和电子束控制器 (GENIUS II)
* 安全管泵组(短泵送周期)
* 真空限制:10-7 mbar 范围或更好
* 基材直径:高达 4英寸
* 旋转和水冷基板支架(用于剥离)
* 旋转和加热基板支架
* 用于精确光束控制的专用顶视图
* 沉积速率的准确控制
* 对系统进行全面监督,管理泵送、排气

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