• 产品名称：PVD20-EB电子束沉积系统
• 订货号：tlyon005344
• 品牌名称：法国Vinci

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PVD20 是具有 D 形室的模块化成本效益物理气相沉积系统。它专用于材料的热蒸发：热、有机或电子束。全自动解决方案是研发环境中小批量生产的理想选择。PVD20-EB 配备带有 8 x 8cc 旋转坩埚和负载锁的电子枪。 
 

 特征

* 真空限制：10-7 mbar 范围或更好
* 基材直径：最大 6 英寸
* 8x8 cc 电子束源（Ti、Au、Ag、Al、Cr、W、Pt）
* 1 x 安全低温泵组（短泵送周期） )
* 用于 Ar 的气体面板
* 旋转和水冷基板支架
* 便于维护的全入口前门
* 带射频等离子预清洁的负载锁定室
* 精确控制沉积速率
* 对系统进行全面监督，管理泵送，排气

*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*  

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