• 产品名称：PVD8八源磁控溅射(2")沉积系统
• 订货号：tlyon005347
• 品牌名称：法国Vinci

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PVD8 是一种物理气相沉积系统，专用于具有多达 8 个源 (2") 的材料的溅射沉积过程。它的进化设计特别适合实验室在日常应用方面的要求、使用简单和具有竞争力的价格. 该系统还可以配备负载锁定室，以达到 10-8 mbar 范围内的极限压力和更快的准备时间。

 该系统主要包括：
* 圆柱形不锈钢室
* 带观察口的快速进入前门
* Up到 6'' 衬底直径，带有旋转、加热和冷却（见选项）
* 衬底极化（DC 或 FR 偏置）
* 多达 8 个溅射源 2" 带气动快门
* 溅射上或下共焦配置
* 射频、直流、脉冲直流、Hipims 源电源
* 安全涡轮泵组
* 全范围和电容式压力测量
* 气动排气阀
* 气体管线质量流量控制器
* 通过节流阀调节压力
* 监督/ 过程控制：PC 软件连接到 PLC

*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*  

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