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- 产品名称:PLD 350六靶脉冲激光沉积系统
- 订货号:tlyon005348
- 品牌名称:法国Vinci
复杂材料和晶体结构的合成是研究中不断增长的要求。脉冲激光沉积 (PLD) 是一种解决方法。它是一种多功能涂层技术,可以生长各种材料,如氮化物、氧化物、超晶格、聚合物、复合材料… Laser-MBE 系统,易于操作,致力于学术和工业研究人员。这种灵活且不断发展的脉冲激光沉积系统允许在最大 2 英寸的基材上进行涂层。可以探索大范围的参数,例如压力、目标与基材之间的距离。这种灵活性为操作员提供了沉积大量薄膜结构的可能性。开发了专用软件以全面监控系统。除了 PLD-350 系统的性能外,它还为用户提供高质量和可重复的过程。
特征
* 可转移的 2 英寸基板支架
* 用于原位表征的端口
* 反应或 UHV 脉冲激光沉积能力
* 4 轴靶支架(6 个 1 英寸靶)
* 涡轮分子泵系统
* 可选负载锁定室
* 离子枪清洁
* 关闭-轴溅射沉积*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*
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