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干式氦气检漏仪UL3000 Fab
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干式氦气检漏仪UL3000 Fab
半导体应用中的泄漏检测要求
  • 订货编号:tlyon003057
  • .
  • 人气指数:3624
  • 品牌名称:美国INFICON
  • 样本资料: 【索取】
  • 供货周期: 合同约定 
  • 关联标签:干式氦气检漏仪UL3000 Fab
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产品介绍

规格参数

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  • 产品名称:干式氦气检漏仪UL3000 Fab
  • 订货号:tlyon003057
  • 品牌名称:美国INFICON
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干式氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS)

INFICON 氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS) 设计用于满足半导体应用中的泄漏检测要求。

此款检漏仪具有灵活性、可移动性、高灵敏度和可靠性,能够快速启动并提供快速精确的测量结果。

快速获得结果
改进后的真空系统采用低维护真空泵设计,在大气压力下即可检测泄漏。耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 软件可消除系统中的水汽,使泄漏检测过程更加迅速。 

UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器线路 SL3000(长度可达 10 m),嗅探能力得到进一步提升。

旋转式遥控显示器
新型触摸屏显示器可远距离显示测量结果和状态信息。通过用户引导型菜单结构可轻松进行操作,即使缺乏经验的操作员也能胜任。可通过智能手机或平板电脑对 UL3000 Fab (PLUS) 进行无线控制 - 无需特殊软件或应用程序。按下按钮,即可将记录和存储的检测结果传输到其他存储介质中,以进行进一步分析。

纤薄设计,实现高度的可操作性
低重心、大底轮、符合人体工程学设计的手柄和纤薄外壳,使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狭小的空间内也能移动自如。

功能

  • 可在大气压力下测量
  • 直观的用户指南与触摸屏显示器
  • 坚固耐用的真空系统,不易受灰尘和污染物影响
  • 转弯半径小,移动性能出色
  • 可使用智能手机通过网络浏览器进行操作
  • 维护要求低
  • 设备上已附带配件

典型应用

  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试
  • 在对检测条件和清洁度要求严苛的环境中进行的泄漏检测
规格
类型 Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
氦气(真空模式)最低可检漏率 mbar•L/s <5E-12
氦气(吸枪模式)最低可检漏率 mbar•L/s 5E-8
MASSIVE 模式最大进气口压力 mbar 1000
FINE 模式最大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式最大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h > 30 at 50 Hz
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 4
可检测质量数
2,3,4 amu
质谱仪扇形场
180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层
2
内置校准漏孔 mbar•L/s e-7
测试端口 DN 25 KF 1
可调触发器

4

接口
2 x USB, Ethernet / LAN
允许的环境温度(操作过程中) °C +10.....+40
输入/输出
Via I/O 1000 module
保护类型
IP 20
重量
120
尺寸(长x宽x高) mm 1050x472x987
电源电压 V (ac) 100...240 V (+/-10% ) 50/60 Hz
功耗 VA Typical 700, max. 1500

零件号

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
零件号 明细
550-200 ULTRATEST UL3000 Fab
550-250 ULTRATEST UL3000 Fab PLUS

附件

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
零件号 明细
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
525-001 3米吸枪
525-002 5米吸枪
525-003 SL3000-10, sniffer line 10m length
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015 遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-201 Helium Bottle Holder for UL3000 Fab
560-310 I/O 1000 模块
560-335 数据电缆(5 米)
560-340 数据电缆(10 米)




*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*  

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