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QMG700气体分析质谱仪
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QMG700气体分析质谱仪
质量范围1-2048amu
  • 订货编号:tlyon004780
  • 参考报价:
  • 人气指数:3274
  • 品牌名称:美国INFICON
  • 样本资料: 【索取】
  • 供货周期: 合同约定 
  • 关联标签:QMG700气体分析质谱仪,残留气体分析仪
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  • 产品名称:QMG700气体分析质谱仪
  • 订货号:tlyon004780
  • 品牌名称:美国INFICON
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QMG 700的一些变体将于2018年1月31日停止使用

  • 质量范围1024 amu和2048 amu 
  • 质量范围16 amu和340 amu 
  • 离子光学系统 
  • QMG 725系统

超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率

半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱以突破检测极限,推动工艺创新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来无与伦比的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。

根据具体的应用要求,选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程,达到ppb 检测量级,这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率,对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些最具挑战性的测量应用,如同位素分析,氦和氘分离等,QMG 700是极好的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量,有效控制您的工艺。

INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和遥遥领先的技术,确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长,您可获得始终如一的高精度测量数据。

功能

  • 质量范围选择为 1-2048 amu
  • 超过九个数量级的动态量程
  • 极快的测量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 涵盖整个质量范围的高分辨率:质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离

  • 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
  • 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
  • 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
  • IO 选项:8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
  • 软件功能强大,灵活实用且具友好的用户界面

典型应用

  • Gas discharge mass spectrometry
  • End point detection
  • Deposition material monitoring
  • Secondary ion mass spectrometry

规格

类型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
质量范围   1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
传感器长度   441.5 mm 548 mm 441.5 mm
杆直径   8 mm 16 mm 8 mm
杆材料   Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
法兰   DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
检测器类型   Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
最大工作压力 (FC)   1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
最大工作压力 (EM)   1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
灵敏度   5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
最小可检测分压   1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
分辨率(可调)   0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
分压比   < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
最高工作温度 传感器   150 °C 150 °C 150 °C
最高烘烤温度   400 °C 400 °C 400 °C
最高工作温度 电子单元   40 °C 40 °C 40 °C
测量速度   0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
电源   100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可检测质量范围为:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。                        

 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 

(2) QMA 410 的可检测质量范围: 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

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