• 产品名称：ONIMS在线离子迁移谱分析仪
• 订货号：tlyon005453
• 品牌名称：Masatech

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AMC - Airborne Molecular Contamination

AMC的定义和来源
半导体工业中的空气分子污染、定义和来源

AMC的定义
术语“空气分子污染”（AMC）旨在描述污染的相关特征，并用于区分微粒污染：
通过空气中的对流或扩散过程，污染物从源到产品的空气传输路径
分子污染物在空气中高度稀释，作为颗粒没有团聚特性
污染-化合物可能对与分子化合物接触的产品或生产工具造成损害
空气分子污染也常被称为“化学污染”。后面的术语是指AMC的主要观察效果，AMC是产品表面的化学改性，例如通过微腐蚀、氧化或表面pH值的变化。

ONIMS在线离子迁移谱分析仪特点：

• 非放射性电离源.
• 正负极性双模式周期性自由切换.
• 7*24小时无间断在线监测.
• 超高分辨率,以NH3氨气为列检测限低至ppt级.
• 空气作为载气，几乎零成本运行.
• 满足常见如苯、甲苯、二甲苯、盐酸、硝酸、氢氟酸、硫化氢、溴化氢等指标在线监测.

 

*本产品非医疗器械,不能用于临床诊断和治疗,仅科研用途!*  

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